固有误差主要泉源于丈量仪器自身的缺陷，如仪器的结构、原理、使用、装置、丈量要领及其丈量标准转达等造成的误差。固有误差的巨细直接反应了该丈量仪器的准确度。一样平常固有误差都是对示值误差而言，因此固有误差是丈量仪器划分准确度的主要依据。丈量仪器的最大允许误差就是丈量仪器在参考条件下，反应丈量仪器自身保存的所允许的固有误差极限值。

　　固有误差是相关于冈蹲泱差而言的。冈蹲泱差就是丈量仪器在非标准条件下所增添的误差。额定操作条件、极限条件等都属于非标准条件。非标准(即参考)条件下事情的丈量仪器的误差，一定会比参考条件下的固有误差要大一些，这个增添的部分就是冈蹲泱差。它主要是由于影响量凌驾参考条件划定的规模，对丈量仪器带来影响的所增添的误差，即属于外界因素所造成的误差。因此丈量仪器使用时与检定、校准时因情形条件差别而引起的误差，就是冈蹲泱差；丈量仪器在静态条件下检定、校准，而在现实动态条件下使用，则也会带来冈蹲泱差。